JSM-IT700HR InTouchScopet™ 热场发射扫描电子显微镜 扫描电子显微镜
日常使用的SEM,好用!该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。
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日常使用的SEM,好用!

随着技术的不断创新,观察的样品也越来越小,微小样品的测定已经常态化。 基于此,浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope?系列 JSM-IT700HR诞生了。

该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。


■ 视频介绍



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■  Zeromag & Autofunctions

放大光学图像,无缝过渡到SEM图像



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Zeromag具有将样品台图像、光学像和SEM像联动的功能,样品台上有多个样品和观察特定区域时,很容易搜寻视野。

※若显示光学像,需要选件样品台导航系统SNS


■  Integrated EDS & Live Analysis

一体化EDS和实时分析



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SEM操作界面上有EDS分析操作,观察分析无障碍。Live Analysis具有实时显示特征X线谱图功能。


■  SMILE VIEW Lab

快速生成数据报告



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JEOL独有的数据管理工具。 光学像、SEM像、EDS分析结果一并保存。报告书一键生成。

也可以离线解析※1。

※1 需要离线分析软件   ※2 需要安装Microsoft?Office


■  信号深度显示



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在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能,实时了解在测样品的分析深度(参考),有效用于元素分析中。


■  自动电子束对中 (ABA)



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电子束的轴偏离时,自动调整对中功能


■  用蒙太奇功能进行广域观察与分析



蒙太奇结果 6x6(左:背散射电子像、右:Cu元素map像 )

样品:黄铜螺钉的平面刻蚀横截面*、 加速电压:20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像:6.4 mm × 4.8 mm


*机械研磨后、用IB-19530CP进行平面刻蚀加工

蒙太奇就是一种拼接功能,能够将广域内采集到的所有图像拼接成一个高清图像。此功能对于获取大面积详细信息非常有用。

分辨率

高真空模式:1.0 nm (20 kV) 3.0 nm (1.0 kV),分析时:3.0 nm (15 kV 入射电流 3 nA), 低真空模式:1.8 nm (15 kV BED)

放大倍率 ×5 ~ ×600,000
电子枪
浸没式热场发射电子枪
加速电压
0.5 kV ~ 30 kV
入射电流 数pA ~ 300 nA
低真空范围
10 Pa ~ 150 Pa
最大样品尺寸
200 mm直径×75 mm高、200 mm直径×80 mm高 ※1、32 mm直径×90 mm高 ※2
样品台 全对中,X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm  傾斜:-10 ~ 90° 旋转:360°
OS、显示器 Microsoft? Windows?10  64bit, 23.8”触摸型
真空系统 全自动TMP:1台 SIP:2台 RP:1台


■ 选配件

1. 低真空二次电子检测器 (LVSED)

2. 能谱仪 (EDS)

3. 波谱仪 (WDS)

4. 电子背散射衍射检测器 (EBSD)

5. 气锁室 (LLC)

6. 样品台导航系统 (SNS)

7. 操作面板

8. 3D测长软件

9. 操作台

10. UPS

11. 空压机

产品系列
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