这是一款拥有更高性能，操作更便捷的电源。

主要的特点请参照下文。

1. 提升良品率

・标配XY扫描，环形扫描，线性扫描功能

・更加容易调整溶迹，通过优化溶迹实现了蒸发分布的重复性得到了提升。

2. 减少异常放电·飞溅

・提高加速电压的响应性能以及通过放电抑制回路来实现对高速放电抑制的控制，从而大幅改善因电子枪放电造成电子束瞬间移动而产生的坩埚外围附着物蒸发和蒸镀材料飞溅的现象。

3. 镀膜工序管理更加简便

・电子枪的各种详细设定值都通过数字的形式进行显示和管理，更容易把握电子枪的状态并进行管理。

・不需要额外的检测器就可以确认电子枪的状态，使得远程提供技术支持和解决使用问题成为可能，有效降低时间成本。

・通过使用标配的放电次数测算功能，可以掌握放电的发生频率以及次数的规律，可以帮助使用者掌握真空室内的污染状况和电子枪的状态。

4. 节能·精简

・更高效的节能电源（消耗电力节省约10%）。

・更加精简的设计。

5. JST-F电源可以直接更换

・通过安装信号转换器，在不改造原有蒸镀设备的控制系统的状态下将电源升级成ICE电源。

特点1    提升良品率

BS-720xxICE电源电源标配了XY扫描，环形扫描，线性扫描，3种扫描模式。

各种模式通过调整扫描频率，电子束停留时间，从而实现改善蒸镀材料溶迹的目的。由此可以得到良好的膜厚分布，提升良品率。

［验证实验：不同扫描模式下的膜厚分布］

环形扫描模式下，即使深挖蒸镀材料时，也可以实现稳定的膜厚分布。

以下条件进行实验，对ZrO2浅挖和深挖时的光学特性进行测定。

・φ1300 mm真空室。T-S距离1100 mm。基板安装在基板伞架的最外围。

・ ZrO2原料在不更换的前提下，同一份原料每次λ/4，进行了3轮蒸镀。

・使用环形扫描，XY扫描，分别进行实验

使用一份ZrO2原料，蒸镀λ/4膜，1～3轮的光谱特性重合的图表。

XY扫描模式时，第一轮（浅挖时）与第三轮（深挖时），基板伞架最外围的光学特性出现偏差。

环形扫描模式时，基板伞架最外围的光学特性一致。

ACR (Advanced Circular mode）

原有的CIRCULAR扫描上添加了XLINE扫描的停留时间设定，而产生的扫描模式。

可以对半径方向上的停留时间进行更加细微的设定。

Advanced Circular mode(ACR)的运行规格

半径方向上的停留时间并非通过数字公式，而是与原有XLINE模式一样采用方块设定方式，来实现半径方向强弱的自由设定。

半径方向上的停留时间并非通过数字公式，而是与原有XLINE模式一样采用方块设定方式，来实现半径方向强弱的自由设定。

〈设定方法〉

所有为了环形硅使用而标配的XLINE模式的波形生成方式都可以适用于Circle scan模式。半径方向可以在20等分的范围内详细设置停留时间。

特点2    减少异常放电·飞溅

BS-720xxICE电源标配有3段式放电抑制功能。

放电抑制功能，能在电荷积聚时，将加速电压降低到0V，电荷密度下降后重新恢复加速电压。

BS-720xxICE电源采用了开关模式电源，加速电压的恢复时间实现了以微秒为单位的高速化。

放电抑制功能启动时，加速电压切断/恢复的过程中，电子束也会产生向坩埚外移动/恢复的现象。

加速电压恢复时间越长的电源，电子束照射坩埚以外区域的时间也会相应变长，从而造成坩埚外的附着物被加热蒸发，成为膜中混入异物的原因。

BS-720xxICE电源的加速电压恢复时间非常的短。

・放电抑制功能即使启动，也不会加热蒸发坩埚外的附着物。

・放电抑制功能即使启动，坩埚内的蒸镀材料的表面温度变化也非常小，可以保持稳定。

由于有以上2个特点，所以可以有效减少膜中异物的混入。

［验证实验：加速电压恢复时间的影响］

通过实验验证，非常短的加速电压回复时间的效果。

在坩埚外放置实验片（在低氧状态下在可以通过颜色区分的Cu板上蒸镀TiOX），在电子束照射到坩埚的状态下，故意提升压力进而造成频繁的异常放电。

原有旧型号电源，加速电压的恢复时间过长，电子束照射实验片的时间也更长，TiOx被蒸发，下方的Cu显现出来。

与此相比，BS-720xxICE电源的实验片还是保持黑色的状态。

加速电压恢复的时间越短，实验片被电子束照射的时间个越短，实验片表面温度无法上升，TiOx也就无法蒸发。

良品率比较

在实际使用用户处，使用JST-10电源与BS-72050ICE电源对UV-IR滤膜的生产进行量产规模的良品率比较。使用BS-72050ICE电源时，通过异常放电发生时的高速恢复性能和扫描调整功能实现了溶迹的改善，与使用JST-10F电源相比良品率得到了改善。

特点3    镀膜工序的管理更便捷

BS-72xxICE电源没有配备旧式操作盘。

转而配备了功能更加丰富的遥控器。电源的各种设定都可以通过遥控器来完成。

由于各种参数都可以通过数值来进行设定·管理，所以使用多台电源时可以实现完全同样的设定，可以有效防止不同设备间出现差异

此外当发生设备故障以及需要技术支援时不但可以大幅度提升对应的速度，而且由于采用数值来进行管理，所以万一遇到特殊情况，需要恢复设定时也会更便捷。

设定的参数可以设置密码，以此区分操作员和管理员并实现有效的参数管理。

进行设定时

将遥控器调整到设定模式，然后输出数字进行设定。旋转［Emission电流控制旋钮］，从列表中选择项目，进行参数数值的设定

手动模式进行蒸镀时

可以通过遥控器上的[ACC] [FIL]ON/OFF按键，对ACC/FIL的ON/OFF进行操作。

[液晶显示器]上能通过数值来表示光斑位置，扫描，Emission电流的值。

由于实现了Emission电流的数值显示，所以需要重复之前的蒸镀设定时，只需要调整到同样的数值，就可以实现极高的重复性。

BS-720xxICE电源搭载了异常放电监测功能。

可以通过遥控器的画面和外部输出信号来确认异常放电发生的次数。通过掌握异常放电的频率和次数，从而对真空室内的污染状态和电子枪的状态进行监控，进而有效提高镀膜工序的管理效率。

特点4    节能·精简

更加节能

BS-720xxICE电源尺寸比JST-电源更小，设计更加精简。

特点5    JST-F电源可以直接更换

BS-64330CNV信号转换器是由JST-F电源更新升级成BS-720xxICE电源时使用。

安装于蒸镀设备与BS-720xxICE电源之间。

蒸镀设备一侧的控制系统不需要改造，通过信号转换器将外部信号转为BS-720xxICE电源用信号。

※BS-64330CNV信号转换器使用时需要的线材，请参照「规格/配件」

其他的特点： 输入电压范围宽

BS-720xxICE电源的输入电压规格为，更加宽180 ~ 242Ｖ电压范围。

一般情况下，在输入电压220V标准的地区，超过设备设计规格的输入电压变动会有造成电源过载的危险。

甚至电子束照射中出现输入电压变动会造成，电子束位置偏离以及电子束特性恶化的不良反应，BS-720xxICE电源在输入电压出现变动时，几乎不会对溶迹产生影响。