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BS/JEBG/EBG 系列电子枪
用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
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JST系列电子枪/电源
和偏转型电子枪结合使用,用作电子束蒸镀的高压电源。
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JEBG系列大功率电子枪/电源
JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源,能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜,此外在电子束熔炼时,可用于高熔点金属锭的生产及提纯。
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BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子体枪
安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术(离子镀),能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外,还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。
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BS-80020CPPS等离子体源
BS-80020CPPS是用于辅助低温(100℃以下等)下塑料基板和胶片成膜的等离子体源。
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RF-120系列高频电源
是溅射、刻蚀、CVD、离子镀等薄膜制备/加工使用的、用于生成等离子体的13.56MHz高频电源(RF电源)。
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JMS-Q1500GC 气相色谱-四极杆质谱仪
JMS-Q1500GC 是日本电子新一代气相色谱-四极杆质谱联用仪,具有优异的性能和更多的四极杆质谱技术优势,适用于众多应用场合如环境分析中的农用化学品、霉味分析,材料分析,以及嗅探分析等。
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JMS-S3000 基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪
JMS-S3000采用日本电子独自研发的SpiralTOF模式离子光学系统,它创新的技术在学术界已广为人知,其超高的质量分辨率和质量准确度,遥遥领先于传统的装置。
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JMS-T200GC 气相色谱-飞行时间质谱仪
第4代AccuTOF GC 系列产品性能进一步改进, 升级为AccuTOF GCx! 将在更广泛的领域为您提供分析解决方案。
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