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多束系统
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JIB-4700F 双束加工观察系统
随着先进材料构造的微细化和制造过程的复杂化，形貌观察、元素分析和晶体分析等的评估技术也对分辨率和精度有了更高的要求。为了满足这些需求，JEOL推出新一代双束加工观察系统JIB-4700F。 该设备的SEM镜筒中采用了超级混合圆锥形物镜、GB模式和in-lens检测器系统，在1kV低加速电压下,实现了1.6nm的保证分辨率,与最大能获得300nA探针电流的浸没式肖特基电子枪组合，可以进行高分辨率观察和高速分析。
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JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统
JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。 被加速的镓离子束经聚焦照射样品后，能对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积。还可以为TEM制备薄膜样品，为观察样品内部制备截面样品。 该设备能配置3D观察功能、自动TEM样品制备功能，能对应多种制样需求。
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