高速率金属厚膜电子束蒸镀用电子枪，标配长寿命灯丝，在φ50 mm范围内实现500 Hz以上高速扫描的同时还可以达到最大16kW的输出，并且在构造上取消了电子枪上方的部件从而减少了蒸气附着，使得日常维护负担大幅减轻。

BS-60250DEM的主要特点

1. 可实现16kW输出（可实现高速率蒸镀）

  最大输出功率达到16kW（10kV,1.6A），可以实现金属膜的高速镀膜。

2. 标配长寿命灯丝

  为了延长维护周期，标配了长寿命灯丝。

3. 可选用大容量坩埚

  标配φ50mm坩埚，选配并安装磁极片BS-60830PP250后可以使用容量100 mL以上的φ70mm坩埚。

4. 可以实现500Hz以上的高速电子束扫描

  由于采用了新开发的扫描线圈，使得电子束扫描性能得到提升，从而实现升华性材料的均衡蒸镀，可以应用于氧化物蒸镀。

5. 平坦的上部结构（可有效降低蒸气附着）

可选配大容量坩埚

选用专用的长磁极片后，可以使用容量100 mL以上φ70 mm的大容量坩埚。

减轻日常维护负担

电子枪上方平坦的构造使得蒸气附着减少，降低的日常维护的负担。

采用放电抑制结构

采用了可以防止电子枪内部压力急剧上升的构造，可以有效的抑制放电。

实验条件：

・压力条件：0.15 Pa一定（导入Ar气体）

・电子束输出：10 kV（8kV）, 0.3A, 10分钟

・电子束照射范围：W（BS-60250DEM）Ta2O5 （一般型号电子枪）

・电子束电源：JST-16F/ST-AS10F

各种金属膜的蒸镀速率

通过高输出·高聚焦的电子束，实现了各类金属的高速率蒸镀。

使用大容量坩埚进行的Al高速蒸镀实例

通过配合使用大容量坩埚，将蒸镀速率提升的更高。

SiO2颗粒材料的溶迹形状

通过新开发的大口径扫描线圈实现了高速扫描功能，使得电介质材料也可以形成均衡的熔融面成为可能。

电子束照射条件：

・输出功率：1.8kW（10kV, 0.18A）

・电子束照射时间：5 min

・扫描方式：CIRCULAR Scan 模式（ICE电源标配功能）

・电子束扫描范围：φ50 mm

・半径方向扫描频率：135 Hz

・圆周方向扫描频率：570 Hz