通过高频感应加热产生大约1万度的热等离子体，经过物理/化学反应过程，能合成纳米颗粒及厚膜(镀膜)。

原理・特征

在大气压或者接近大气压的低气压环境下，将高频电源集中于局部，通过电磁感应使各种气体在瞬间变成１万度左右的超高温等离子体。

热等离子体属于电弧放电，往等离子体中充入原料（粉末、气体或液体），经过蒸发、熔融、分解、化学反应等，能进行纳米颗粒的合成、微细粉末的球化及反应、镀膜、有害气体的分解等。

与直流(DC)电弧放电相比能获得大容积的等离子体。

气体流速比直流(DC)等离子体相比要慢10倍，原料可以被充分地加热、反应。

由于没有电极，也就没有电极材料的污染，整个过程非常纯净。

具有氧化性、还原性、腐蚀性的各种气体都可以使用。

超出了机械粉粹的能力，能将颗粒微细化到纳米级。

由于能够利用等离子体中的原子、离子、激发态分子和自由基等高能量化学物种的反应，有望用来合成新物质、新材料。

仪器概要

高频振荡器

对高频感应等离子体负载具备最适合的匹配电路及控制性能，能充分地应对异常放电，电源效率业界领先。

产品系列（额定输出功率）：6kW型，35kW型，100kW型，200kW型

*300kW型也已经生产

等离子体炬

每个高频振荡器配有专用的等离子体炬。

能产生体高密度等离子的体炬直径及结构

两层冷却水管结构，内管使用陶瓷管，与石英管相比耐久性高

※  (已取得专利)、在低压～大气压状态下能长时间稳定地运行。

目前还在开发将直流 (DC) 和高频 (RF)结合的混合式等离子体炬，混合式具有以下特征:

将直流等离子体射流叠加在高频等离子体的上方，这样就会对高频等离子体有辅助作用。

制作纳米颗粒时，由于原料能用直流等离子体预热，可以进行高效率地蒸发（微细化）。

系统

能根据用途和目的提供纳米颗粒合成装置、镀膜装置、试验用装置等。

*可以提供热等离子体发生器（成套设备）