2003年日本电子推出了世界首台商业化场发射电子探针（FE-EPMA），此后被广泛地应用于金属、材料、地质等各个领域，并获得了极高的赞誉。最新研发的第三代场发射电子探针JXA-8530F Plus，电子光学系统有了很大的改进，新的软件能提供更高的通量，并保持着极高的稳定性，能实现更广泛的EPMA应用。
肖特基场发射电子探针Plus
JXA-8530F Plus采用浸没式肖特基场发射电子枪,优化了角电流密度，能利用2 μA以上的大探针电流进行分析，还提高了分析条件下的二次电子像的分辨率。
高级软件
新开发了多种基于Windows操作系统的软件，其中包括：能使痕量元素分析更加简便的“痕量元素分析程序”、能自动制作相图的“相图制作器”以及只需简单输入就能对表面凹凸不平样品进行测试的“不平坦样品的分析程序”等。
备注：Windows7® 为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标。
灵活的WDS配置
X射线波谱仪可以选择140 R或100 R罗兰圆， 罗兰圆半径为140 mm的XCE/L型X射线谱仪检测范围宽，波长分辨率高和P/ B比优异，100 mm的H型X射线谱仪具有X射线衍射强度高的特点，可以根据需要选择使用。
WDS/EDS组合系统
JXA-8530FPlus标配了JEOL制造的30平方毫米 SD检测器（以下简称SD检测器），凭借高计数率的SD检测器，在与WDS相同的分析条件下可以进行EDS分析，通过简单的操作就能采集EDS谱图。
多功能样品室
样品室的可扩展性强，配备了样品交换室，可以安装各种附件。 可以安装的附件
. 电子背散射衍射系统（EBSD）
. 阴极荧光检测系统
. 软X射线分析谱仪
. 不暴露在大气环境下的转移舱
. 高蚀刻速率的离子源
强力、清洁的真空系统
高强力真空系统包括两台磁悬浮涡轮分子泵， 镜筒内还采用两个中间室，通过差动抽气保持电子枪室的高真空。
软X射线分析谱仪 (SXES)
SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer) 软X射线分析谱仪
日本东北大学多元物质科学研究所（寺内正己教授）和日本电子株式会社共同开发的的高分辨率软X射线分析谱仪。 新开发的变栅距衍射光栅(VLS）和高灵敏度的CCD相机组合，同时检测Li-K系谱线和B-K系谱线，该谱仪实现了极高的能量分辨率，因而能进行化学结合状态分析等。
miXcroscopy （关联显微镜)
miXcroscopy 光学显微镜/扫描电子显微镜关联系统
能批量登录光学显微镜指定的坐标数据作为EPMA的分析点，该系统最适合于需要用光学显微镜决定分析位置的样品。
