JXA-8530F Plus是日本电子第三代场发射电子探针，一经问世就在中国境内获得订单， 已经开始在全球发售。 JXA-8530F Plus是场发射电子探针JXA-8530F的升级产品，除了小束斑下的束流、最大束流进一步提高以外，该设备还在快速高精度元素面分布分析、低含量多晶体分析等方面有很多创新的开发，多功能样品室（适合新材料无污染的 样品传输等）也是这款设备的 特点之一。
JXA-8530F升级为JXA-8530F Plus，性能升级的主要内容如下：
1、小束斑下更高的束流，空间分辨率进一步提升
2、样品室采用全新的设计，适合各种新材料的研究（例如：可将截面抛光仪加工后的样品在不暴露在大气的环境下移至电子探针的样品室，而且可以对样品进行适度的氩离子轰击、清洁处理）
3、通过信号、噪声的不同处理，得到同样效果的X射线面分布图采集时间只是过去的五分之一，这对材料的高灵敏度、多元素、面分布分析提升很大
4、实现了光学显微镜和电子探针的连用， 光学显微像的样品位置能够被电子探针高精度的读出（选购件）
