JSM-F100 热场发射扫描电子显微镜 扫描电子显微镜
JSM-F100集成了备受推崇的In-lens Schottky Plus Gun和电子光学控制系统Neo Engine,一个新开发的操作GUI“SEM Center”和一个创新的Live-AI filter, 实现了高空间分辨率成像观察和高可操作性。JSM-F100的工作效率比之前的JSM-7000系列高50%或更高。
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◇ 新操作导航SEM Center-集成了EDS操作

新开发的操作GUI“SEM Center”将SEM成像观察和EDS分析整合在一起,实现了图像观察和元素分析的无缝数据采集。



◇ 新功能Zeromag

“Zeromag”,结合了从光学图像到SEM成像的无缝转换,很容易定位试样目标微区。



◇ 新功能Live-AI filter(实时图像视觉增强器人工智能过滤器) option

配备人工智能Live-AI filter。与图像集成处理不同,这种新的过滤器可以显示无缝移动的实时图像,没有残留图像。这种独特的特征对于快速搜索观察区域、聚焦和消像散调整非常有效。



◇ In-lens 肖特基-Plus场发射电子枪(FEG)

电子枪和低像差聚光镜的增强集成实现了更高的亮度。能够有效收集电子枪产生的电子,即使低加速电压下也能得到数pA-数十pA的电流,支持高分辨观察、高速元素分析和EBSD分析。



◇ 混合透镜(HL)

混合透镜(HL)是静电和电磁场透镜的组合,支持从磁性材料到绝缘体等各种样品的高空间分辨率成像和分析



◇ Neo Engine

Neo Engine是一种前沿的电子光学控制系统,在自动功能的精度上有了显著的提高,可操作性也更高。即使变更电子光学条件,光轴也不偏差,操作性和观察精度大幅提高。可以说是JEOL电子光学技术的结晶。



◇ ACL

JSM-F100包括一个光阑角孔优化透镜(ACL)。ACL抑制入射电子的扩散,以始终保持最小的探头。这是通过对孔径角度的优化控制来实现的,以适应探头电流的大变化,使扫描电镜的操作包括高分辨率成像和x射线分析顺利进行。



◇ 检测器

4个检测器。标配SED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) 、可选件RBED、USD



UED and USD



RBED and SED


分辨率(1 kV) 1.3纳米
分辨率(20 kV) 0.9纳米
加速电压 0.01至30 kV
标准检测器 高位电子检测器(UED),二次电子检测器(SED)
电子枪 浸没式肖特基Plus场发射电子枪
探头电流 几pA至300 nA (30 kV)
几pA至100 nA (5 kV)
物镜 混合式透镜(HL)
样品台 全优中心(eucentric)测角仪样品台
样品移动 X轴:70毫米,Y轴:50毫米,Z轴:2至41毫米
倾斜: –5至70°,旋转:360°
EDS检测器 能量分辨率:133 eV或更低
可检测元素:B(硼)至U(铀)
检测面积:60平方毫米 
产品系列
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