★ 冷却的效果 样品：镀锌钢板
可提供500μm/h（8KV/2小时的平均值）的研磨速率。
Specimen: Galvanized iron steel
Normal milling (without cooling)
Accelerating voltage 4kV
Cooled milling (holder temperature -120℃)
Accelerating voltage 4kV
※ 通常加工（无冷却）时，铁和锌的接合面上能够观察到间隙，而冷却加工时则没有间隙
★ 使用温度控制系统（选配件）冷却 样品：硅晶片接合面
Normal milling Cooling Cooling temperature control
(without cooling) (holder temperature -150℃) (holder temperature -20℃)
Accelerating voltage 6kV Accelerating voltage 6kV Accelerating voltage 6kV
※ 常规加工由于热损伤造成粘合剂变形，出现了很大的间隙。 -150 ℃时，冷却过度，能观察到胶粘剂和硅晶片研磨面的接合面上出现了间隙，但通过温度控制冷却则没有间隙。
★ 合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备
★ 进程监控功能
截面加工状态可通过CCD相机实时监控，倍率还可调整。
★ 防止充放电的喷镀功能
备有离子束溅射功能（选配项）
可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。
最适合于象EBSD等需要花样识别等情况。
★ 平面离子减薄样品架
以小角度的离子束低角度照射样品，达到清除表面污垢、平滑表面等效果。
另外也非常适合于选择性蚀刻。
★ 截面样品制备单元
安装在平面离子减薄样品架上使用。该单元可用于在旋转样品的同时进行离子束加工。
可以用来制备象多孔质材料、粉末、纤维等容易出现加工条纹的样品的截面。
| 离子加速电压 | 2 ～ 8 kV |
| 离子束直径 | 500 um( FWHM) |
| 研磨速率 | 500 um（两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um） |
| 样品架冷却达到的温度 | -120 ℃ |
| 样品冷却持续时间 | 8小时以上 |
| 制冷箱容量 | 约1升 |
| 承载样品的最大尺寸 | 11mm(长) × 8mm（宽）× 3mm（厚） |
| 样品台移动范围 | X轴：±6mm、Y轴：±2.5mm |
| 固定样品方法 | 夹式 |
| 样品加工摆角 | ±30° |
| 加工观察用相机的倍率 | 约20～100倍（6.5寸显示器上） 机械泵: 150 mm（宽） × 427 mm（长） × 230 mm（高）、约16 kg |
| 空气隔离系统 | 转移舱 |
| 空气隔离法 | 将舱内设定成氩气气氛，盖上转移舱盖子，将样品封在舱里。 |
| 操作方法 | 触控屏、6.5寸显示器 |
| 使用气体 | 氩气(用质量流量控制器控制流量) |
| 压力测试 | 潘宁真空计 |
| 主抽真空系统 | 涡轮分子泵 |
| 辅助抽真空系统 | 机械泵 |
| 尺寸、重量 | 主机：约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg 机械泵：约150 mm (宽) × 430 mm(长) × 230 mm(高)、约16kg |
| 选配件 | 大型旋转样品架（IB‐11550LSRH)、（IB‐11550LSRH) 基座样品架 （IB‐11560MBSH) 大型样品架（IB-11570LSH) 喷碳样品架（IB-12510CCH） |
| 电源 | 单相100～120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA |
| 接地线 | 独立地线(100 Ω以下) |
| 氩气 | 使用压力：0.15±0.05 MPa(1.0 ～ 2.0 kg/cm2) 纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备) 金属配管连接口:JISB0203 RC1/4 |
| 室温 | 15～25 ℃ |
| 湿度 | 60%以下 |
