日本电子株式会社(代表取締役社長兼COO 大井 泉)宣布:高通量新型扫描电子显微镜JSM-IT700HR于2020年8月开始全球销售。
【开发背景】
扫描电子显微镜广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域,从基础研究到工厂的品质管理等用途也在不断地扩展。不仅以研究为目的,快速高清晰图像的数据采集和更简便的元素分析的需求很高。 随着技术的不断创新,观察的样品也越来越小,微小样品的测定已经常态化。 基于此,浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。
该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA(是之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息。 用户界面操作简单,设计紧凑,配备大样品室和更好的防震台,实现了从【能见】-【易见】的转变。 在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能,实时了解在测样品的分析深度(参考),有效用于元素分析中。
该机种有低真空观察型JSM-IT700HR/LV和低真空观察分析型 JSM-IT700HR/LA两种型号。
【主要特点】
1. 浸没式热场发射电子枪,可实现高清晰图像观察和高空间分辨率分析
2. Zeromag功能,可实现快速的视野搜索
3. Live Analysis功能,实现高效元素分析
4. 信号深度显示功能,可实时了解样品的分析深度
5. SMILE VIEWTM Lab,易于生成从观察到分析的所有数据报告
6. 样品更换导航使样品更换更安全简便
7. 电子束自动对中可使电子光学条件维持最佳状态
8. 大开门样品室可对应各种形状和大小的样品观察和分析