日本电子株式会社（社长 栗原 権右衛門）宣布：新型原子分辨率分析型电子显微镜JEM-ARM200F “NEOARM”开发了， 于2017年6月开始全球销售。

开发背景

现在，配备球差校正器的透射电子显微镜几乎已成为高端研究场所的标准配置，本公司已经向全世界输送了近200台球差校正透射电镜。

近年来，含轻元素和不耐电子束辐照等材料的高分辨观察需求加速，且随着球差校正电镜的普及，操作更加简单的呼声越来越强烈。本社针对这些要求，研发了新型的“NEOARM”。

“NEOARM”标配日本电子独有的冷场发射电子枪和全新的高阶球差校正器（ASCOR）, 从200kV到30kV的加速电压下，均能实现原子分辨率观察与分析。

另外，配备了本社独自开发的像差校正算法，自动进行高速准确的像差校正，原子分辨率观察高效快速。配备了获得轻元素更高衬度的新型STEM检测器和新的成像法（e-ABF法），轻元素观察更加容易。

新型远程操作系统，将主机和操作桌分开。主机颜色则采用的是本社新概念的纯白色，设计精炼。

主要特征

1. 全新高阶球差校正器ASCOR (Advanced STEM Corrector)

目前，在五阶球差被校正之后，阻碍透射电镜分辨率进一步提高的最大障碍就是五阶的六重像散，“NEOARM”上配备的新型球差校正器ASCOR完全能够校正6重像散。ASCOR和Cold-FEG的完美组合实现了从高加速电压到低加速电压下前所未有的高分辨率。

2. 自动像差校正软件 JEOL COSMO™（Corrector System Module）

JEOL COSMO™采用了全新像差校正算法(SRAM：Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix)，即能快速精确地校正至5阶像差。与采用传统校正算法的系统相比，JEOL CMSMO™在自动化易用性等方面更进一步，客户可以通过该系统简单高效地获取原子级别分辨率的数据。

3.新ABF (Annular Bright Field) 检测器系统

ABF检测器已被广泛地用于轻元素高分辨观察。“NEOARM”采用更高衬度的新ABF成像法(e-ABF：enhanced ABF)。可以使轻元素的原子级观察更加容易。

4.Perfect sight检测器

“NEOARM”的STEM系统标配的Perfect sight检测器是采用特种闪烁体材料制成。该检测器具有极佳的宽电压适应性，在所有配备的加速电压下都可获得更高衬度的STEM图像，并可用于定量STEM的分析研究工作。

5.Viewing Camera系统

Viewing Camera系统是一套由两个相机组成的图像观测系统，用于远程操控功能的图像获取。这一系统可以实现主机房和操作间的分离，也使“NEOARM”的外观更加具有科技感。

主要技术指标