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JEBG 系列大功率电子枪・电源
JEBG系列大功率电子枪是用来在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在宽幅塑料及大面积玻璃基板上持续、高速率地镀膜，还可应用于电子束熔炼，用于高熔点金属铸锭的制备及精炼。
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BS-EBM系列多用途电子束熔炼炉
以电子束为热源使用各种熔解用坩埚，对高融点活性金属进行熔解/精炼、制备铸锭的电子束熔炼炉。适合研究开发及少量生产、省空间设计的小型熔炼炉。可按照用途选择坩埚种类、材料供给系统和电子枪输出功率。
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TP 系列 高频感应等离子体发生器
通过高频感应加热产生大约1万度的热等离子体，经过物理/化学反应过程，能合成纳米颗粒及厚膜(镀膜)。
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TP-99010FDR 粉末供应装置
用气体通过管道定量输送粉末的送粉器。该台式送粉器能稳定地供给亚微米～100μm左右的微细颗粒。通过载气输送微细粉末。还能够输送有着高聚集特性的1μm～纳米尺寸的微细颗粒。
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TP-99260FDR　粉末供应装置
本机型通过增加自动调整控制粉末供应量的新功能，使得粉末供应的稳定性得到大幅提升。外部信号控制也得以实现。
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RF-340 系列匹配网络自动整合装置
和产生等离子体的13.56MHz高频电源组合，与负载进行匹配的自动调整装置(匹配箱 + 控制器) 。
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BS-04 系列 旋转式传感器
晶振膜厚控制仪的传感器，可装载6个或12个晶振片 。
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TP 系列 高频感应等离子体发生器
通过高频感应加热产生大约1万度的热等离子体，经过物理/化学反应过程，能合成纳米颗粒及厚膜(镀膜)。
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TP-99010FDR 粉末供应装置
用气体通过管道定量输送粉末的送粉器。
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