◇ 装置主体
● 可配置Cs校正器和CFEG
● 高速高精度的stage 与现有的马达驱动控制相比速度上提高了3倍、具备与Piezo驱动控制同等效力的微动控制能力。
◇ 操作简单
● 即使TEM的操作经验少也能直接操作设备
· 大量减少使用操作盘,直接按顺序点击显示画面上的按钮就能得到最终的图像
· 也可以用鼠标来进行调焦等操作
· 可以兼容GATAN CCD
● 自动调整功能
· 自动聚焦、自动调整样品高度、自动电子束传递、自动定位等
◇ 自动获取数据的功能
●按照操作菜单可自动获取数据
· TEM像、STEM像、元素面分布
· 可以对应栅格上的多个样品
◇ 和测长软件链接
● 在TEM上设定倍率可以对其他倍率进行校正
· 可以对多台JEM-ACE200F取得的数据自动测长
◇ 远程操作
● 可在隔壁房间操作设备
● 远程操作及多地同时观察(依赖于网络环境)
· 可与多个事务所一边讨论一边观察
◇ 封闭鏡筒,使环境耐受性提高
● 噪音、气流、室温变化得到了抑制
● 内壁装有吸音材料,可进一步防噪音
◇ 从分析仪器到分析工具
-STEM/TEM分析自动化、改进操作流程、品质管理稳定提高-