日本电子株式会社（代表取締役社長兼COO 大井 泉）宣布：新型原子分辨率分析电子显微镜“GRAND ARM™2” (JEM-ARM300F2)于2020年2月开始全球销售。

开发背景

近年来，电子显微镜的开发都在追求分辨率的提高。日本电子一直致力于提高电子显微镜的稳定性，并结合像差校正技术，一举打破了分辨率的壁垒。

GRAND ARMTM虽然是具有超高分辨率的原子级分析能力的电子显微镜，但对应硬质材料和软质材料的分析还追寻更高的分辨率和分析精度。

日本电子应对这些要求，开发出新型的电子显微镜GRAND ARMTM2, 该电子显微镜标配新型的物镜极靴FHP2，实现了超高原子分辨率成像和最大立体角EDS的元素分析。另外，能够减轻外部环境干扰的外壳也变成该设备的标准配置，从而设备的稳定性得到进一步的提高。

主要特点

1.   超高空间分辨率下高灵敏度EDS分析

    标配新型物镜极靴FHP2

 * 与之前的FHP相比，FHP2  x射线检测率提高2倍以上

 * 利用低色差和低球差系数的光学常数，无论采用怎样的加速电压都能获得超高空间分辨率和高灵敏度的x射线分析（STEM分辨率：53pm@300kV、96pm@80kV）

2.   可配备高灵敏度x射线分析的物镜极靴WGP

    采用大间隙WGP：

 * 大面积的SDD更接近样品，可以进行超高灵敏度的x射线分析（立体角2.2sr）

 * 可以使用厚的样品杆，进行各种各样的观察实验

3.   设备主体与球差校正器一体化

   * 采用FHP2，300kV下，STEM空间分辨率53pm；

   * 采用WGP，300kV下，STEM空间分辨率59pm

4.   标配冷场发射电子枪 (Cold-FEG)

5.   配备减轻外部环境干扰（气流、室温、噪音）的外壳